灵敏度（分辨率）a

0.1µm-5µm范围内粒径分辨率≦10%

测量不确定度

在粒径设定档，浓度误差±20%

校准周期

不超过12个月，或规定的性能验证时

计数OB欧宝

最小粒径阀值时（50±20）%，大于或等于最小粒径阈值的1.5倍时（100±10）%

低浓度范围

与实际预期的最低浓度相比，伪计数不显著。自净阶段计数在一段时间内等于零（例如，5min内无计数）

高浓度范围

在使用点，大于设施洁净度上限浓度2倍，且不超过制造商建议最大浓度的75%

A粒径分辨率大于10%的仪器，给出的粒子计数结果可能有高达1个数量级的波动。